Triton 40:桌面型多功能等离子设备
2018-05-02应用领域
表面清洁与活化
• 材料表面有机污染物的去处
• 去处纳米级金属氧化层
• 增强表面胶体流动性,消除涂层、塑封料的分层
• 提升表面能,实现难粘材料的有效结合
• 表面粗化与微蚀:消除表面应力,使材料更易结合。
表面粗化及微刻蚀
• 纳米级表面粗化,应力释放。
• 光刻胶去除
• 对多种材料的选择性刻蚀
设备特点
• 设计紧凑的桌面型等离子工艺平台,易于与厂务端连接
• 可靠的腔体结构设计,确保工艺腔体具备一流的气密性与耐用性
• 优秀的进气、排气设计,保证工艺过程的均匀性
• 支持多种电极形式与最多4路工艺气体,适用于处理各种产品并适应多种工艺要求
• 直观的图形控制界面,通过触屏可实时观察、控制工艺过程
• 13.56MHz射频电源与自动匹配系统,具有优异的稳定性和可重复性
Triton40 标准技术规格
设备尺寸 宽*深*高 635W x 860D x 690H mm 腔体 尺寸 340W x 456D x 280H mm 容积 43L 最大电极数量 8 电极间距 57mm 电极 功率电极尺寸 226W x 320D mm 接地电极尺寸 1300W x 320D mm 射频系统 射频功率及频率 300W/13.56MHz 气体控制 气路配置 标配两路 / 最多可扩充至4路气体 真空泵 标准配置 25m³/h 油泵 厂务要求 供电要求 220V, 10A, 50Hz, Single-Phase, 13AWG, 3-Wire 工艺气体接口及尺寸 1/4英寸卡套接口 工艺气体种类及纯度 CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%;
Ar = 99.999%; 其余气体请咨询JETPLASMA
工艺气体压力 15~20 psig 吹扫气体接口及尺寸 1/4英寸卡套接口 吹扫气体种类及纯度 N2=99.99% 吹扫气体压力 15-60 psig 气动用接口及尺寸 1/4英寸卡套接口 气动用气体及压力 CDA, 60~90 psig 排气口接口及尺寸 KF25 环境温度 5~40℃ 相对湿度 40~60%